Alle Wafer Halter sind in ihrer Ausführung an
kundenspezifische Umgebungsparameter anpassbar.
Beispiel: Halsverlängerung und Aufhängevorrichtung
In unterschiedlicher Ausführung zur
horizontalen oder vertikalen
Positionierung im Becken
Zum stressfreien Andrücken des Wafers
Regelbare Membran-Flüssigkeitspumpen
zum Befüllen und Entleeren
Verwendung sowohl bei den Vessel Units
als auch bei den Process Units
Bestehend aus Hochfrequenz-Generator und Ultraschall-Wandler
Anwendung:
Vakuumerzeugung für die Wafer Halter
Typ 01 – Einsatz in KOH/TMAH und galvanischen Prozessen
Typ 02 – Einsatz in HF und anderen aggressiven Medien
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Instructions
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