Kontaktierung: von der Rückseite
Kontakte: im geschützten Raum
Arbeitsfläche: komplette Vorderseite
geschützt: Rückseite
| Dimension | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" | 8" |
| A - length | 105 mm | 135 mm | 185 mm | 200 mm | 227 mm | 260 mm |
| B - total width | 65 mm | 87 mm | 132 mm | 145 mm | 160 mm | 212 mm |
| C - width neck | 65 mm | 50 mm | 80 mm | 80 mm | 80 mm | 80 mm |
| D - thickness | 12 mm | 12 mm | 12 mm | 14 mm | 14 mm | 14 mm |
| E - compl. thickness | 44 mm | 44 mm | 44 mm | 44 mm | 44 mm | 44 mm |
| F - edge exclusion | 5 mm | 5 mm | 5 mm | 5 mm | 5 mm | 5 mm |
Galvanische Bearbeitung von
Vorder- und Rückseite
Kontakte: im geschützten Raum
Kontaktierung: von beiden Seiten möglich
Kontakte: im geschützten Raum
Substratformate: beliebig
Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum
Substratformat: beliebig
Mit Aufhängevorrichtung
Anwendung: Electroplating oder LIGA
Galvanisierung von z. B. 5 Wafern gleichzeitig
Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum
Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum
geschützt: Rückseite
Anwendbar für Wafer Halter
und Galvanik-Einheit
Wafer-Fixierung durch Clip-Ring,
unterbrochen für die Aufnahme der
kundenspezifischen Kontaktierung
Wafer wird gehalten, nicht geschützt