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Basic-G

Kontaktierung: von der Rückseite
Kontakte: im geschützten Raum
Arbeitsfläche: komplette Vorderseite
geschützt: Rückseite

Dimension 2" 3" 4" 5" 6" 8"
A - length 105 mm 135 mm 185 mm 200 mm 227 mm 260 mm
B - total width 65 mm 87 mm132 mm 145 mm 160 mm 212 mm
C - width neck 65 mm 50 mm80 mm80 mm 80 mm 80 mm
D - thickness 12 mm 12 mm 12 mm 14 mm 14 mm 14 mm
E - compl. thickness 44 mm 44 mm 44 mm 44 mm 44 mm 44 mm
F - edge exclusion 5 mm5 mm5 mm5 mm5 mm5 mm

Plus-G

Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum
Arbeitsfläche: Vorderseite minus umlaufend 5 mm
geschützt: Rückseite und Rand
PDF Download: Product Sheet | Instructions

Dimension 2" 3" 4" 5" 6" 8"
A - length 122 mm145 mm186 mm239 mm239 mm313 mm
B - total width 80 mm105 mm132 mm190 mm190 mm263 mm
C - width neck 80 mm80 mm80 mm80 mm84 mm100 mm
D - thickness 12 mm14 mm14 mm15 mm15 mm15 mm
E - compl. thickness 21 mm22 mm22 mm22 mm22 mm24 mm
F - edge exclusion 5 mm5 mm5 mm5 mm5 mm5 mm

Pieces-G

Zusatzteil für alle silicet Wafer Halter
Typen BASIC und PLUS, um Waferteile
von unterschiedlichen Abmessungen zu prozessieren

Kontakte: im geschützten Raum

PDF Download: Product Sheet

System-G

Komplettes Wafer Halter Vakuum-System

Bestehend aus:
- Wafer Halter mit Andrückhilfe
- Vakuum-Box mit Netzteil

Double-sided

Galvanische Bearbeitung von
Vorder- und Rückseite

Kontakte: im geschützten Raum

Horizontal

Horizontale Ausrichtung des Wafers
während des Prozesses

Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum
Arbeitsfläche: komplette Vorderseite
geschützt: Rückseite

Standversion

Wafer Halter mit Standvorrichtung

Current baffle

Stromräuber: zur Verbesserung der Schichtdicken-Homogenität
(Vermeidung von Knochenbildung)

Type I

Kontaktierung: von beiden Seiten möglich
Kontakte: im geschützten Raum
Substratformate: beliebig

Type II

Kontaktierung: von beiden Seiten möglich
Kontakte: im geschützten Raum
Substratformate: rund mit eckiger
Maskierungsfläche
Mit oder ohne Stromblende

Special Sizes

Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum
Substratformat: beliebig
Mit Aufhängevorrichtung
Anwendung: Electroplating oder LIGA

Batch Processing

Galvanisierung von z. B. 5 Wafern gleichzeitig

Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum

Typ I

Kontaktierung: von der Vorderseite
Kontakte: im geschützten Raum
geschützt: Rückseite

Anwendbar für Wafer Halter
und Galvanik-Einheit

Single Clip-G

Wafer-Fixierung durch Clip-Ring,
unterbrochen für die Aufnahme der
kundenspezifischen Kontaktierung
Wafer wird gehalten, nicht geschützt

Twin Clip-G

Gleichzeitiges Galvanisieren von zwei
Wafern mit einem Halter

Conpro-G

Präzise Kontaktierung kundenseitig
vorgegebener Kontaktpositionen

Kontakte: im geschützten Raum
geschützt: Rückseite
Mit Aufhängevorrichtung

Trio

Kontaktierung: von beiden Seiten möglich
Kontakte: im geschützten Raum
Arbeitsfläche: Vorderseite minus
umlaufend 3 mm
Voraussetzung: Startschicht bis zum Rand
geschützt: Rückseite und Rand

Type I

Flexibel für die Aufnahme von gleichen
Formaten oder auch unterschiedliche Formate

Kontaktierung: im geschützten Raum

Type II

Flexibel für die Aufnahme von gleichen
Formaten oder auch unterschiedliche Formate