Variable Parameter » Abstand Kathode : Anode - auch Pelletkorb einsetzbar » Lage Anode / Kathode 0° - 180° (Anode über Kathode) schwenkbar » Elektrolytmenge vor der Kathode » Anströmung: Strömungsgeschwindigkeit von 0 bis 3,2 l/min,
freie oder definierte Anströmung durch Lochplatte » Temperaturmanagement » Abschattung der Kathode durch Einsatz von Feldblenden » Filtereinsatz vor der Kathode (Filterung: 1 - 3µm) » Waferkassette mit umlaufender Bestromung im geschützten Raum,
Aufnahme unterschiedlicher Wafer-/Substratgrößen