Variable Parameter
» Abstand Kathode : Anode - auch Pelletkorb einsetzbar
» Lage Anode / Kathode 0° - 180° (Anode über Kathode) schwenkbar
» Elektrolytmenge vor der Kathode
» Anströmung: Strömungsgeschwindigkeit von 0 bis 3,2 l/min,
   freie oder definierte Anströmung durch Lochplatte
» Temperaturmanagement
» Abschattung der Kathode durch Einsatz von Feldblenden
» Filtereinsatz vor der Kathode (Filterung: 1 - 3µm)
» Waferkassette mit umlaufender Bestromung im geschützten Raum,
   Aufnahme unterschiedlicher Wafer-/Substratgrößen