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Vessel Unit


Glas Einheit mit Temperaturregelung
für Naßätz-Prozesse unter Laborbedingungen

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Das im doppelwandigen Glasgefäß befindliche temperierte Wasser oder Öl sorgt für eine konstante Temperatur der Lösung im Gefäß. Der Deckel dient gleichzeitig zur Halter-Aufnahme.
Unterschiedliche Gefäßgrößen entsprechend den zu prozessierenden Wafergrößen erhältlich.

Die Einheit ist auch für galvanische Prozesse durch Einsatz einer inerten Anode oder einer löslichen Anode in Form von Pellets in einem Anodenkorb möglich. (siehe electroplating)


Pumpe

zum Füllen und Entleeren des Gefäßes

Temperaturfühler

In unterschiedlichen Lagen erhältlich