Vessel Unit

• Einfaches Handling
• für alle Standardprozesse

Wafer Holder

Halten und Schützen des Wafers während des Prozesses

• Prozessierung von Waferausschnitten
• minimaler Randausschluß
• Einzel- oder Doppelhalter
• Batchfähig

Process Unit

• Modularer Aufbau
• Platz- und kostensparend
• Variable Substrat- bzw. Elektrodenpositionen
• Adaptierbar an alle speziellen Prozesse
• Batchfähig